蔡司EVOMA10／LS10鎢燈絲系列掃描電鏡

【總體描述】

        EVO系列電鏡是高性能、功能強大的高分辨應用型掃描電子顯微鏡。MA 10用于材料領域，LS 10用于生命科學領域。該系列電鏡采用多接口的大樣品室和藝術級的物鏡設計，提供高低真空成像功能，可對各種材料表面作分析，并且具有業界領先的X射線分析技術。革命性的Beamsleeve的設計，確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像，同時還可以進行準確的能譜分析。樣品臺為五軸全自動控制。標準的高效率無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無污染(免維護)成像分析。

 【產品應用】

        掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等 檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實時微區成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶 粒取向測量。

【技術參數】

    分辨率： 3.0nm@ 30KV(SE and W)  4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 

    加速電壓：0.2—30KV 

    放大倍數：7—1000000x 

    探針電流：0.5PA-5μA

    X-射線分析工作距離：8.5mm    35度接收角 

    低真空壓力范圍：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)

    工作室：310mm(φ)×220mm(h) 

    5軸優中心自動樣品臺：X=80mm  Y=100mm  Z=35mm  T=-10°- 90°°R=360°

    zei大試樣高度：100mm，zei大試樣直徑：200mm 

    系統控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系統