連續X射線是高速電子受到陽極靶原子核的庫侖場的阻力減速，動能轉化為X射線的能量時產生的。又稱軔致輻射。
相對地，還有一種標識X射線。標識X射線是高速電子將靶原子的內層軌道電子碰撞出軌道后，外層電子向內層躍遷時發出的。因為躍遷釋放的能量具有原子的特征，因此又稱特征X射線。
標識X射線和連續X射線的激發源都是電子，還有第三種，X射線熒光， 激發源就是X射線本身。X射線熒光是用一定波長的X射線照射靶原子，使靶原子處于激發態，從而激發出光子而形成的。X射線熒光是光子。
標識X射線和連續X射線，激發源都是電子，電子發射X射線，用于X射線波譜儀；X射線熒光，激發源是X射線，靶原子吸收X射線并發射光子，用于X射線熒光譜儀。X射線熒光譜儀，根據色散方式不同，又可以分為X射線熒光光譜儀（波長色散）和X射線熒光能譜儀（能量色散）。