能譜儀是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡使用。
包括以下幾指標：
探頭：一般為Si(Li)鋰硅半導體探頭
探測面積：幾平方毫米
分辨率（MnKa）：～133eV
探測元素范圍：Be4～U92
使用范圍：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析；
2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分的鑒定；
3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測；
4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域； 5、進行材料表面微區成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。
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