等光程具有結構簡單、成本低、調整方便等優點，能在連續加工中確保聚焦透鏡上的光斑面積不變；同時，還能根據不同的切割工藝要求，改變切割時焦點半徑和焦點深度的大小。目前，國內關于等光程方面研究還不多，如天津城市建設學院的揚曉東等，提出了光路長度補償系統的三種機構設計方案，并從機構的角度對其進行了分析和比較，其方法的提出對激光切割機飛行光路的設計具有一定的指導意義。采用機構來實現光路補償，會使設備的結構尺寸過大，同時增加了設備的復雜程度，安裝調整難度大。隨著伺服控制技術的日益成熟，采用伺服電機直接驅動等光程裝置具有結構簡單，調整方便等優點，是一種經濟、實用的光路補償方案。伺服電機直接驅動的等光程光路補償方案主要包括激光發生器、固定于機身上的反射鏡、伺服電機驅動的運動裝置上的補償反射鏡、橫梁上的反射鏡、z軸上的反射鏡片。當固定在z軸上的切割頭作x，y向運動時，補償反射鏡作S向運動來補償光路長度的變化,進而保持激光切割機在連續切割加工時焦點半徑和焦點深度不變。當有不同加工需要時，比如切割不銹鋼薄板與低碳鋼厚板，需要不同的焦點大小、焦點深度、行走速度，此時，可通過控制器改變等光程裝置的初始位置來改變光路長度，進而改變透鏡表面光束直徑，最終改變焦點大小和焦點深度,以滿足不同加工需要。