1.真空系統組成:真空系統是獲得真空度和測量控制真空度的組成部分，由真空測量系統和真空獲得機組組成
2.真空度測量:真空度測量采用壓力傳感器進行測量該真空規采用壓力應變實現真空度測量，測量數據為線形電信號，可直接輸入設備控制器進行顯示和控制
