高分辨透射電鏡（HTEM）能夠完成這樣的要求。
其一如樓上所說，電子非常短的德布羅意波長給予TEM非常高的分辨率，0.1-0.2nm的小于原子之間的距離。其二是透射電鏡類似于X光，重元素會更多的吸收入射的電子，在投影儀上留下一個暗斑，晶體缺陷導致原子位置的錯位，可以在照片上看到它的影響。
下面是一張HTEM的圖片，很明顯，如果帶有晶體缺陷，在圖片里必然能看到不同的原子陣列。譬如圖片中間黑暗部分所示的情況：
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