使用紫外燈(UV)光源將有機物分子電離成可被檢測器檢測到的正負離子(離子化)。檢測器捕捉到離子化了的氣體的正負電荷幵將其轉化為電流信號實現氣體濃度的測量。
氣體離子在檢測器的電極上被檢測后,很快會電子結合重新組成原來的氣體和蒸汽分子。PID 是一種非破壞性檢測器,它不會改變待測氣體分子。可以實現連續實時檢測。