俄歇電子能譜儀（Auger Electron Spectroscopy，AES），作為一種最廣泛使用的分析方法而顯露頭角。這種方法的優點是：在靠近表面5-20埃范圍內化學分析的靈敏度高；數據分析速度快；能探測周期表上He以后的所有元素。雖然最初俄歇電子能譜單純作為一種研究手段，但現在它已成為常規分析手段了。它可以用于許多領域，如半導體技術、冶金、催化、礦物加工和晶體生長等方面。俄歇效應雖然是在1925年時發現的，但真正使俄歇能譜儀獲得應用卻是在1968年以后。
