俄歇電子能譜學（Auger electron spectroscopy，簡稱AES），是一種表面科學和材料科學的分析技術。因此技術主要借由俄歇效應進行分析而命名之。產生于受激發的原子的外層電子跳至低能階所放出的能量被其他外層電子吸收而使后者逃脫離開原子，這一連串事件稱為俄歇效應，而逃脫出來的電子稱為俄歇電子。1953年，俄歇電子能譜逐漸開始被實際應用于鑒定樣品表面的化學性質及組成的分析。其特點是俄歇電子來自淺層表面，僅帶出表面的資訊，并且其能譜的能量位置固定，容易分析。
俄歇電子能譜法(AES)是一種了解固體原子層面特性的方法,這一方法對開發許多最先進的電子設備至關重要,已經成功應用于從氣相化學到納米結構特性的廣泛領域。 ......
本論文介紹了作者在攻讀碩士學位期間的研究工作,主要包括:俄歇電子能譜儀的設計和研制情況;用電子能量損失譜方法對氬原子的內殼層2p激發進行研究,結合Cowancode的計算,得到了各個躍遷的能級和自然寬......
掃描電鏡利用精細聚焦電子束照射在樣品表面,該電子束可以是靜止或在樣品表面作光柵掃描。在這個過程中,電子束與樣品相互作用產生各種信號,其中包括二次電子、背散射電子、俄歇電子、特征X射線和不同能量的光子等......
PHI的700Xi掃描俄歇電子能譜儀(AES)提供高性能的掃描俄歇電子(AES)頻譜分析，俄歇成像和濺射深度分析的復合材料包括：納米材料，催化劑，金屬和電子設備。維持基于PHI CMA的核心......
新一代的俄歇電子能譜儀多采用場發射電子槍,其優點是空間分辨率高,束流密度大,缺點是價格貴,維護復雜,對真空要求高。除H和He外,所有原子受激發后都可產生俄歇電子,通過俄歇電子能譜不但能測量樣品表面的元......
俄歇電子能譜儀的基本原理是,在高能電子束與固體樣品相互作用時,原子內殼層電子因電離激發而留下一個空位,較外層電子會向這一能級躍遷,原子在釋放能量過程中,可以發射一個具有特征能量的X射線光子,也可以將這......
近年來,俄歇電子能譜儀(AES)在材料表面化學成分分析、表面元素定性和半定量分析、元素深度分布分析及微區分析方面嶄露頭角。AES的優點是,在距表面0.5～2nm范圍內,靈敏度高、分析速度快,能探測周期......
大多數元素在50~1000eV能量范圍內都有產額較高的俄歇電子，它們的有效激發體積（空間分辨率）取決于入射電子束的束斑直徑和俄歇電子的發射深度。能夠保持特征能量（沒有能量損失）而逸出表面的俄歇電子，發......
一定能量的電子束轟擊固體樣品表面，將樣品內原子的內層電子擊出，使原子處于高能的激發態。外層電子躍遷到內層的電子空位，同時以兩種方式釋放能量：發射特征X射線；或引起另一外層電子電離，使其以特征能量射出固......
俄歇電子能譜法是用具有一定能量的電子束(或X射線)激發樣品俄歇效應，通過檢測俄歇電子的能量和強度，從而獲得有關材料表面化學成分和結構的信息的方法。利用受激原子俄歇躍遷退激過程發射的俄歇電子對試樣微區的......