不同元素特征X射線能量各不相同，依此進行定性分析；再根據特征X射線強度大小，可進行定量分析。
可用函數關系式表示為：C=f(k1I1, k2I2, k3I3...) 式中：Kn(n=1,2,3…)表示第n號元素的待定系數In(n=1,2,3…)表示第n號元素釋放的特征X射線強度。由此可知只要通過標定確定系數Kn之后便可進行物質中元素的定量分析了。
在中華人民共和國境內生產、銷售和進口電子信息產品過程中控制和減少電子信息產品對環境造成污染及產生其它公害，適用本辦法。但是，出口產品的生產除外。
RoHS檢測儀是為了控制生產商生產的產品中對人體健康有害的重金屬含量。比如空調、洗衣機、吸塵器、熱水器、手機、這些產品在人們生活中都會經常遇到，所以如果重金屬超標會影響人體健康。建議生產商要嚴格控制重金屬含量，保障廣大消費者的健康。