| 儀器名稱： | 全自動磁控濺射系統 |
| 儀器編號： | 12024341 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | 金盛微納科技有限公司 |
| 型號： | MSP-150B |
| 出廠日期： | 201112 |
| 購置日期： | 201211 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝 |
| 放置地點： | 微電子所新所一層微納平臺 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 劉建設（,,zhaoting@tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 微納加工 半導體工藝 集成電路 磁控濺射 |
| 技術指標： | SiO2薄膜濺射；工藝溫度﹤200℃ |
| 知名用戶： | 王喆垚(微電子所)、陳兢(北京大學)、何立平(中科院物理所)、嚴清峰(化學系)、許軍(微電子所)、尤政(精儀系) 朱榮(精儀系)、張志勇(北京大學)、金傳洪(浙江大學) |
| 技術團隊： | 設備工程師：林宏 設備主管：劉建設 項目主管：陳煒 |
| 功能特色： | 可低溫（T﹤200℃）濺射SiO2膜，滿足平面器件工藝，特別適合正膠剝離的樣品。常規濺射SiO2膜溫度高，無法滿足低溫平面工藝要求，此濺射系統濺射SiO2薄膜的平整度、表面粗糙度比常規高溫、中溫濺射的質量好，均勻性好，能滿足低溫濺射二氧化硅膜的工藝條件。 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 氧化硅濺射 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 350.0 | 1μm以下 |