它由離子源和束聚焦透鏡等部分組成，有如下功能：①清潔試樣表面 用于分析的樣品要求十分清潔，在分析前常用 濺射離子槍對樣品進行表面清洗，以除去附著在樣品表面的污物；②逐層刻蝕試樣表面，進行試樣組成的深度剖面分析。一般采用差分式氬離子槍，即利用差壓抽氣使離子槍中氣體壓強比分析室高103倍左右。這樣當離子槍工作時，分析室仍可處于高真空度。離子束能量可在0.5至5keV范圍內調節，束斑直徑由0.1至5mm可調。為排除濺射陷口邊遠的影響，濺射刻蝕區域應比入射電子束斑的直徑大很多。離子束也可在大范圍內掃描。
