繼德國商人波蘭特發現磷、德國化學家孔克爾制出磷后，英國化學家波義耳也獨立制出了磷，他也是最早研究磷性質及化合物的化學家，他在1682年發表的論文《一種觀察到的冷光的新實驗》中寫到“磷在燃燒后生成白煙，白煙與水作用后生成的溶液具有酸性。”其中的白煙正是磷酸酐（五氧化二磷），而與水作用生成的溶液即為磷酸，然而他并未對磷酸進行進一步的研究。
研究磷酸最早的化學家是法國化學家拉瓦錫。1772年，他做這樣的實驗：將磷放在以汞密封的鐘罩里使其燃燒。實驗結果而得出這樣的結論：一定量的磷能燃燒于某容量的空氣中；磷燃燒時生成無水磷的白色粉片，如細雪一般；燃燒后瓶中的空氣約剩原來容量的80%；磷燃燒后較燃燒前約重2.5倍；白色粉片溶于水即成磷酸。拉瓦錫還證明磷酸可用濃硝酸和磷反應制得。
大約過了一百多年，德國化學家李比希做了許多農業化學的實驗，揭開磷和磷酸對植物生命的價值。1840年李比希著的《有機化學在農業和生理學上的作用》中，科學地論證了土壤的肥力問題，并指出磷對植物的作用。同時，他還進一步探究了磷酸及磷酸鹽作為肥料的應用，從此磷酸的生產進入大規模化時代。