早期的臺式熒光光譜儀使用液氮（LN）致冷探測器Si（Li）LN，每次使用要消耗液氮，也不方便。電致冷硅漂探測器SiPIN出現后，就成為側RoHS光譜儀探測器的主流。液氮致冷靈敏度較容易達到要求，成本比電致冷的稍微低點，所以現在個別品牌還有液氮的。但現有的電致型都能達到RoHS要求，且有的品牌用Si（Li）PCD電致冷探測器幾乎達到的ppb級水平。實際上，在有RoHS之前早就有X射線熒光光譜儀，測RoHS的要求相對來說要求并不太高，所以就派上用場了。
以上兩種探測器對測輕元素的靈敏度都不理想（所以美國NITON便攜式熒光光譜儀不能測鋁等輕元素）。出現了SDD電致冷探測器，提高了對輕金屬元素的靈敏度，還能測硅等非金屬元素，但價格相對來說又貴了許多。