分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2-5分鐘就可以測完樣品中的全部元素。
非破壞性。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
分析精密度高。制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
測試元素范圍大，WDX可在ppm-100%濃度下檢測B5-U92，而EDX可在1ppm-100ppm下檢測大多數元素，Na11-U92。此外還可以檢測Cu合金中的Be含量。
可定量分析材料元素組成，分辨率高，探針尺寸為500μm (WDX), 75μm (EDX)。