優點
①樣品通過冷凍，可使其微細結構接近于活體狀態；
②樣品經冷凍斷裂蝕刻后，能夠觀察到不同劈裂面的微細結構，進而可研究細胞內的膜性結構及內含物結構；
③冷凍蝕刻的樣品，經鉑、碳噴鍍而制備的復型膜，具有很強的立體感且能耐受電子束轟擊和長期保存。
缺點
冷凍也可造成樣品的人為損傷；斷裂面多產生在樣品結構最脆弱的部位，無法有目的地選擇。
