冷場掃描電鏡和熱場掃描電鏡的區別

冷場：做完測試關燈絲，需要做Cleaning，燈絲束流亮度較低，成像質量較好，不適合做EDS。
熱場：燈絲常亮，不需要清潔維護，燈絲亮度高，成像效果較好（相同等級的熱場FESEM成像效果略遜色于冷場FESEM），EDS效果遠優于冷場。