有油螺桿空壓機的維護主要是進空氣過濾器 （其會被灰塵堵塞）的周期更換，以及每年的潤滑油和油分離器的更換。壓縮機的維護也包括對機油的定期補充和更換。為保證制氮系統穩定可靠地運行和壓縮機的長壽命運行，必須按照壓縮機廠商推薦的周期維護辦法和措施來維護壓縮機。
風冷式冷干機的周期性維護主要是定期吹掃，清洗排污口；請認真閱讀冷干機的操作維護使用說明書，嚴格按照冷干機廠商推薦的周期維護辦法和措施來維護冷干機。
過濾器的周期性維護主要是根據過濾器的使用狀況定期更換濾芯。如果發現過濾器的壓力差過大，請及時更換濾芯。請參照過濾器廠商推薦的周期維護辦法和措施來維護過濾器。
制氮主機基本上不用周期性維護。用戶可在每年公司（廠）所有設備大修時檢查一下制氮機是否運行正常。