勻膠熱板一體機是一種用于材料科學、機械工程、自然科學相關工程與技術、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，于2019年5月27日啟用。
技術指標
最大可完成8英寸晶圓的勻膠烘烤，向下兼容；Windows操作系統，PC控制；密碼設定保護。 勻膠機：最大轉速12000 rpm，轉速精度<0.2 rpm；加速范圍0~30000 rpm/s；時間設定精度0.1 s；不均勻性<±3% @4英寸。 熱板：10英寸方形, 配可編程頂針和限位孔；溫度設定范圍300℃, 溫度誤差±0.3%，溫度均勻性±0.5℃。
