半導體參數儀

　　半導體參數儀是一種用于物理學領域的科學儀器，于2015年9月17日啟用。

　　4200-SCS/F半導體特性分析系統主機，2個高分辨率中功率SMU 最大電流100mA，最大電壓200V，最大功率2W 4200-SMU高分辨率中功率SMU（源測量單元） 最大電流100mA；最大電壓200V；最大功能2W；配置有4200-PA，擴展電流分辨率至0.1fA 4200-CVU C-V測試單元，掃描頻率范圍1KHZ-10MHz。