原子在受到熱或電的激發時，由基態躍遷到激發態，返回到基態時，發射出特征光譜叫做原子發射光譜，
而根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法稱為原子發射光譜。ICP-AES的特點是可以進行多元素檢測，選擇性高，檢出限低，準確度高。
原子熒光光譜是基于基態原子吸收特定波長光輻射的能量而被激發至高能態，受激原子在去激發過程中發射出的一定波長的光輻射，根據這一原理制成的可以檢測元素含量的儀器叫原子熒光光譜儀（光度計），比如SK-2003A,線性寬度大于三個數量級，重復性小于百分之0.6%。