原子吸收光譜法特殊原子化技術能大幅度提高提高測定靈敏度，并擴大原子吸收光譜儀檢測法的應用范圍。不過它們只在某些特殊情況下進行才顯示其價值和特點，因而在應用上有一定的局限性。
1 氫化物原子化法
氫化物發生法是將含砷、銻、錫、硒和鉍等的試樣轉變成氣體后進入原子化器的一種方法。它可以提高對這些元素的檢測限10~100倍。由于這類物質毒性大，在低濃度時檢測它們尤其顯得很重要。當然也要求操作者用于安全又有效的方法清除從原子化器中出來的氣體。
2 冷蒸氣原子化
冷蒸氣原子化技術是一種原子吸收光譜法非火焰分析，它是一種低溫原子化技術，僅僅用于汞的測定。這種技術是以常溫下汞有高的蒸汽壓為基礎。在常溫下用還原劑將無機Hg2+還原為金屬汞，然后由氬或氮等載氣把汞蒸氣送入吸收光路，測量汞蒸氣對吸收線Hg253.72nm的吸收。
由于各類有機汞化合物有毒并廣泛分布在環境中，故此法顯得尤為重要。天然水中的汞一般以穩定的有機汞存在，其污染的危害性比無機汞嚴重。測定時通常采用硫酸—高錳酸鹽蒸煮法，首先將有機汞轉變為無機汞，反應過量的氧化劑用鹽酸羥胺除去。