從1955年澳大利亞科學家A. Walsh(威爾茨)發表原子吸收光譜法(AAS)分析論文并設計出第一臺AAS儀后,開創了火焰原子吸收光譜分析法(FAAS)。
1959年,前蘇聯李沃夫創建石墨爐原子吸收法(GFAAS),在此基礎上,1968年經過德國學者麥斯曼( H.MassMann)發展和改進,設計出第一臺石墨爐原子吸收儀,隨后經過 W.Slavin(斯拉文)博士等確認,形成現在的石墨爐原子吸收光譜儀。
1965年JB. Willis(威利斯)成功地將氧化亞氮-乙炔用于FAAS法,擴大所能測定元素范圍,又提高了部分元素FAAS分析靈敏度。
1977年R.J. Watling提出了縫管原子捕集新技術,從而提高了FAAS分析靈敏度。
1983年S.B. Smith Hieftje提出用自吸效應校正背景。
1990年美國 Perkin-Elmer-公司推出縱向磁場調制校正背景,橫向加熱GFAAS儀。
1994年該公司在 SIMAAA型AAS儀器中使用階梯光柵和半導體圖像檢測器。
1997年 Leeman Labs在美國 Analyte公司之后,使用陰極濺射原子化器,生產出A30型AAS儀快速順序分析30個元素。
2004年德國 Analytik Jena公司首次推出 ContrAA300型順序掃描連續光源AAS儀,標志著新型AAS儀器時代正在走來。
目前,原子吸收光譜分析廣泛應用于國民經濟各個領域,包括冶金、地質、機械、材料科學、石油化工、生命科學、食品安全、環境保護科學、航空航天等領域。