激發光源是原子熒光光譜儀的主要組成部分。在一定條件下， 熒光強度與激發光源的發射強度成正比，因此一個理想的光源應當具有下列條件：①發射強度高，無自吸；②穩定性好，噪聲小； ③發射的譜線窄且純度高；④價格便宜且有足夠長的使用壽命； ⑤操作簡便，不需復雜的電源；⑥適用于各種元素分析，即能制造出各種元素的同類型的燈。
在原子熒光光譜分析中，曾經在 AFS 儀器中使用過的激發光源有前面概述中提到的金屬蒸氣放電燈、空心陰極燈等多種。在我國的氫化物-無色散原子熒光光譜儀器的發展過程中曾經用過的激發光源有微波無極放電燈和空心陰極燈。目前國內外的氫化物-無色散原子熒光商品儀器用的激發光源基本都是空心陰極燈(包括高性能空心陰極燈)。而激光光源是原子熒光的一種理想光源，具有商業開發前景，也是目前原子熒光儀器研究的主要熱點之一。
空心陰極燈
空心陰極燈是目前在原子吸收和原子熒光光譜儀中應用最廣泛 的一種輻射光源。國際上最早將空心陰板燈用在原子吸收光譜儀上的是 A. Walsh 和 W. G. Jones，他們在20世紀50年代末就制作了 Ag、Al、Au 等元素的空心陰極燈，這種空心陰極燈成了原子吸收光譜儀的一種主要光源。由于早期的原子熒光光譜儀都是用原 子吸收光譜儀改裝組成，空心陰極燈也就自然成了原子熒光光譜儀的一種激發光源。盡管國外在原子熒光的研究過程中曾使用過上述 的多種光源，但真正在商品儀器中使用的只有空心陰極燈，如 Technicon 的 AFS-6 和 Baird 的 AFS-2000。
國內關于空心陰極燈的研制起始于20世紀60年代初期，吳廷照等于1965年就研制成功封閉式空心陰極燈，到70年代初已 能生產30多種空心陰極燈。70年代后期中科院上海冶金研究所曾 研制了用脈沖供電的空心陰極燈作激發光源的原子熒光儀器，用大 電流對燈供電，結果燈的壽命很短，雖然也檢測了 Cd、Zn 等幾種元素，但結果并不理想。直到1987年，劉明鐘等研制成功了用于原子熒光的空心陰極燈及其供電方法后，空心陰極燈作為原子熒光的激發光源才被廣泛采用。