氣態自由原子吸收特征波長輻射后,原子的外層電子從基態或低能級躍遷到高能級經過約10-8s,又躍遷至基態或低能級,同時發射出與原激發波長相同或不同的輻射,稱為原子熒光。原子熒光分為共振熒光、直躍熒光、階躍熒光等。