隨著科學研究與工業生產進入了納米領域，人們對顯微技術、顯微儀器的要求越來越高，需求也日益增長。
光學顯微鏡價格便宜，操作簡單，但由于可見光波長的限制，其放大倍數只能達到1000倍左右；傳統大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數可以達到數萬倍，具有大景深，是當前材料科學、生物科學領域最常用的表征手段之一，但其投資巨大，而且需要經過嚴格培訓的操作人員，使用不便。
為了解決這一矛盾，美國FEI公司在2004年提出了臺式掃描電鏡的概念。不同于傳統大型掃描電鏡，臺式掃描電鏡是一種全新的設計，其結合了光學顯微鏡與傳統掃描電鏡的優點。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數和大景深，同時體積小、操作簡便，價格僅為傳統電鏡的幾分之一，逼近高端光學顯微鏡的價格。