國家重點專項場發射槍掃描電子顯微鏡通過驗收

　　12月6日，由北京中科科儀股份有限公司承擔的國家重大科學儀器設備開發專項“場發射槍掃描電子顯微鏡開發和應用”項目技術綜合驗收會在北京外國專家大廈召開，科技部專家組成員、項目牽頭單位、合作和應用單位代表參加了本次會議。

　　會上，驗收專家組現場聽取了中科科儀項目負責人張永明所做的完成情況匯報，觀看了項目視頻，聽取了異地測試情況匯報。與會專家組成員對項目完成情況給予高度評價，一致建議通過驗收。

　　中科科儀多年來一直致力于電子顯微鏡產品的研制開發與技術升級，1975年中科科儀研制成功的我國第一臺DX-3型掃描電子顯微鏡分辨率達到10nm；1985年與美國AMARY公司合作開發的KYKY-1000B掃描電子顯微鏡分辨率達到6nm；直至今天KYKY-EM8100型場發射槍掃描電子顯微鏡分辨率達到了1nm。

　　此次參與驗收的場發射槍掃描電子顯微鏡是納米科技研究不可缺少的工具,為前沿科技研究提供重要支撐，提升高端科學儀器研制水平，促進精密制造業發展，滿足半導體技術、生命科學、環境保護等領域的迫切需求。該項目突破了高分辨電子光學成像系統設計、場發射槍工程化設計制造、電子束加速鏡筒設計制造等多項關鍵技術，成功開發出具有自主知識產權的肖特基場發射槍掃描電子顯微鏡，分辨率指標分別達到和優于3nm@1kV和1nm@30kV，達到國際一流水平，極大促進了我國電子光學儀器產業的發展，使我國掃描電鏡實現臺階式飛越，有效解決當前“卡脖子”問題，打破了國外產品壟斷局面，促進國家、民族工業發展。極大推動和提高我國前沿科學研究、重大工程和戰略型新興產業高端裝備的國產化和自主化水平。