定性離子一般選質荷比大且響應值高的。選質荷比大是因為小質荷比的離子不具有代表性，很多物質都可以裂解出它。響應值高是為了提高檢測限，便于定量。
質譜計必須在高真空下才能工作。用以取得所需真空度的閥泵系統，一般由前級泵和油擴散泵或分子渦輪泵等組成。擴散泵能使離子源保持在10～10毫米汞柱的真空度。有時在分析器中還有一只擴散泵，能維持10～10毫米汞柱的真空度。
