場發射俄歇電子能譜顯微分析

場發射俄歇電子能譜的顯微分析是一項新的分析技術,可對微尺度樣品進行點、線、面的元素組分及元素化學態分析。本文簡要介紹這項新技術的功能原理和在微電子器件檢測等方面的具體應用。