我目前只知道一種儀器，叫TXRF(Total Reflection X-ray Fluorescence)。其原理是用X光激發原子層電子逃逸，導致外層電子躍遷釋放出特征X射線，其可以被接收器（EDX）檢測形成能量彌散X射線譜。其他的不太清楚，X-ray Fluorescence的儀器用的都是這個原理。還有一種光譜叫電子致發光譜，一般都是配合SEM得到的。
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