擴散泵（diffusion pump）是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。
擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產生大量的油 蒸氣，油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運動，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣 多級壓縮，最后由 前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。