對話江化微：自主創新，助推國產濕電子化學品突圍

　　當下，遍及全球的數字化技術正在催生新一輪的科技革命和產業變革，尤其自去年，在經濟發展停滯和疫情的雙重夾擊下，發展半導體芯片的創新和制造的實力，加強自主創新意識及知識產權戰略布局，已經自上而下成為中國全社會的新共識。新能源、信息通訊、消費電子等下游電子信息產業的快速發展的同時，濕電子化學品行業需求的更新換代速度也不斷加快。

　　濕電子化學品是電子工業中的關鍵性基礎化工材料，也是重要支撐材料之一，其質量的好壞，直接影響到電子產品的成品率、電性能及可靠性，對微電子制造技術的產業化有重大影響。因此，電子工業的發展要求濕電子化學品與之同步發展，不斷地更新換代，以適應其在技術方面不斷推陳出新的需要。從某種意義上說，濕電子化學品支撐著新能源、現代通信、計算機、信息網絡技術、微機機械智能系統、工業自動化和家電等現代技術產業。

　　所以，電子化學材料產業的發展規模和技術水平，已經成為衡量一個國家經濟發展、科技進步和國防實力的重要標志，在國民經濟中具有重要戰略地位，是科技創新和國際競爭最為激烈的材料領域之一。

　　江陰江化微電子材料股份有限公司（下文稱：江化微）是目前國內規模最大、品種最齊全、整體配套服務能力最強、技術領先的濕電子化學品專業服務提供商之一，在業內享有較高的聲譽。近日，江化微副總經理姚瑋先生就濕電子化學品的研發相關話題接受了記者采訪。

江陰江化微電子材料股份有限公司副總經理姚瑋先生

　　濕電子化學品的角色

　　姚瑋首先歸納到，我國半導體行業的發展可分為三個階段：

　　第一階段自 80 年代改革開放起，帶有國家主導的單位、研究所等等，初期引入了一些集成電路的產線，由于比較缺少經驗，真正投入運營起來的生產線還是寥寥無幾。

　　第二階段為在 20 世紀 90 年代八五期間實施的發展微電子產業的重點工程，主體企業是由無錫 742 廠和永川半導體研究所無錫分所合并成立的中國華晶電子集團公司，該項目的建成投產使國內集成電路生產技術水平由 2-5 微米提高到 0.8-2 微米。909 工程是電子工業有史以來投資規模最大的國家項目，表現了當時黨和國家的領導人迫切希望提高我國集成電路水平。

　　第三階段自 2014 年 10 月 14 日，工信部辦公廳宣布國家集成電路產業投資基金設立至今，國家重點投資集成電路芯片制造業，兼顧芯片設計、封裝測試、設備和材料等產業，實施市場化運作、專業化管理，在這一階段我國在集成電路領域產生了較快發展。

　　超凈高純化學試劑成為制約半導體等微電子微細加工技術發展的瓶頸。以半導體生產為例，大規模集成電路在其生產過程中有幾十道工序，工藝制造過程中的空氣、水、各種氣體、化學試劑、工作環境、電磁環境噪聲以及微振動、操作人員、使用的工具、器具等各種因素都可能帶來污染物，集成電路集成度越高，對高純試劑顆粒控制的要求越嚴格，污染物數量超過一定限度時，會導致集成電路產品漏電、電特性異常等情況，輕者影響電路使用壽命，嚴重時可導致電路報廢，而這些污染物都需要相關的超凈高純試劑去除。隨著集成電路線寬尺寸減小，對專用化學品中的金屬雜質、塵埃含量、塵埃粒徑等指標提出了更高的要求。

　　超凈高純試劑正是隨著集成電路制造業對產品純度不斷提出嚴格要求，在通用試劑基礎上發展起來的純度最高的試劑。為衡量不同濕電子化學品的“超凈”和“高純”的程度， 1975 年國際半導體設備和材料組織（SEMI）制定了國際統一的超凈高純試劑標準，以對應不同線寬的集成電路應用。目前國際上制備 G1 到 G5 級超凈高純試劑的技術都已經趨于成熟，國內大部分企業已經達到了國際 G3 標準，并已開展 G4 與 G5 標準產品的研發工作。一些技術領先的濕電子化學品企業，如江化微公司，目前技術水平已達到 SEMI 標準等級的高端行列，硝酸、硫酸、氨水、金屬刻蝕液等均已完成行業 G4 級或 G5 級品類中試，量產在即。

　　江化微的技術演進

　　作為國家火炬計劃高新技術企業，江化微歷來注重自主研發創新，配備有 50 余人的專業研發團隊，是江蘇省企業技術中心和江蘇省超高純濕電子化學品工程技術中心。公司全心致力于微電子、光電子專用濕電子化學品制造業的發展，不斷開發出先進的工藝技術和生產高性能的微電子化學品，是目前國內產品達到國際標準，且具有一定生產規模的多家企業之一。隨著下游對產品純度不斷提出嚴格要求，江化微不斷創新技藝突破技術壁壘，在半導體制程當中所涉足到的化學品除了光刻膠、研磨液以外，基本上做到了全覆蓋，能夠為下游客戶開發功能性新產品，有效解決客戶對產品的功能性需求，獲得客戶的廣泛認可，為我國半導體在內的集成電路制造業自主研發控制核心技術提供了不可或缺的前提條件和支持。

　　談及技術突破過程中，姚總表示，滿足下游產業不斷提出的更高要求，對于如江化微一樣的供應商而言需要的是對更高標準的檢測技術的掌握，這當中有來自于安捷倫這樣的公司提供的幫助。“比如為應對 G4 或者 G5 標準，進入到中高端制程與之匹配的 ICP-MS/MS 等高端儀器都是必不可少的。在一些中高端芯片制程當中我們提供的數據不能不準確，必須是非常嚴謹的，因為某些元素超標就可能影響到芯片的性能，特別是一些電性能這方面受到一些元素的影響，哪怕是很微不足道的 PPT 級的對它也會有影響，這就對我們的合作伙伴像安捷倫科技這樣的分析儀器制造企業提出了挑戰，經過時間的考驗安捷倫無疑提交了令人滿意的答卷，無論是檢測相對低要求的服務了超過 20 年經久耐用的 7500 ICP-MS 系列還是應對高要求的不斷創新研發解決問題的 8800 ICP-MS/MS 和 8900 ICP-MS/MS。與江化微有著一樣不斷滿足客戶需求不斷突破自我的信念的企業才是研發生產路上最好的合作伙伴。”

　　安捷倫代表與江化微領導在第二屆半導體濕電子化學與電子氣體論壇合影

（從左至右：安捷倫科技化學分析市場經理王海鑒

江化微副總經理姚瑋先生 安捷倫科技材料行業市場經理馮旭）

　　在國家政策支持下，包括江陰江化微電子材料股份有限公司在內的中國科技企業不斷總結經驗教訓潛心研發攻克技術難題，以技術為先導，自主研發、與客戶共同研發及“產學研用”相結合，不斷實現產品的升級換代；以服務為依托，秉持“為客戶提供價值”及“同客戶共同成長”的理念，逐步增強綜合配套服務能力，致力于成為國際電子化學品研發的引領者和高端配套服務提供商，助力下游產業中國客戶技術革新科技強國，相信“技”高一籌指日可待！

　　期待機遇無限的未來

　　作為處在市場前景光明的高端化學品行業，江化微也觀察到隨著國家政策戰略以及資金支持、國內高科技產業不斷升級、技術逐漸成熟等背景下，傳統的化工企業也在不斷尋求產品升級轉型的機會。有著豐富行業經驗的姚總分享了幾點寶貴經驗，“首先企業自身要有一支專業性的管理團隊、技術團隊，要熟悉行業未來發展的方向、確定自身的產品等級、去服務這個行業當中的哪些客戶群。與之對應的，產品技術來源、ZL技術等等需要工業設備要去配套支持。其次，及時轉變與之適應的管理體系。積極與比較先進的客戶群溝通學習，包括芯片廠各項的管理、對產品品質的管控，要從用戶角度去轉變我們的觀念與思路，來適應用戶越來越高的要求，才能夠盡快得到客戶群的認可。最后是做產品，產品的裝備升級、對應的包括檢測的儀器升級、檢測方法的提升與建立完善等，也是非常關鍵的轉變。”

　　“大家都知道中國國內的市場非常龐大，中國可以帶動世界的經濟占比都是比較高的，特別是這兩年，包括人才的回流，市場本身又在國內，可以說國內半導體的發展和繁榮已到了天時、地利、人和的階段，這是我對半導體行業的展望。應該講，未來是有可超過十年以上的繁榮期和發展。與此對應的，我們處在整個材料行業當中提供材料包括設備的子行業，與我們配套的檢測器材行業比如安捷倫，所提供的包括檢測設備、解決方案這一塊，相輔相成一同來發展，應該是比較好的前景。”談及行業未來發展，姚瑋這樣評價。

　　關于江陰江化微電子材料股份有限公司

　　江陰江化微電子材料股份有限公司，是無錫科技領軍企業、國家高新技術企業，專業生產適用于半導體（TR、IC）、晶體硅太陽能（solar PV）、FPD平板顯示（TFT-LCD、CF、TP、OLED、PDP等）以及LED、硅片、鋰電池、光磁等工藝制造過程中的專用濕電子化學品——超凈高純試劑、光刻膠配套試劑的專業制造商，是目前國內生產規模大、品種齊全、配套完善的濕電子化學品專業服務提供商。

　　關于安捷倫科技

　　安捷倫科技公司（紐約證交所：A）是生命科學、診斷和應用化學市場領域的全球領導者，致力于提供敏銳洞察與創新，幫助提高生活質量。我們的儀器、軟件、服務、解決方案和專家能夠為客戶最具挑戰性的難題提供更可靠的答案。在2020財年，安捷倫的營業收入為53.4億美元，全球員工數為16400人。如需了解安捷倫公司的詳細信息，請訪問 www.agilent.com。