測量方法都包括百平衡載流子的注入和檢測兩個基本方面。最常用的注入方法是光注入和電注入，而檢測非平衡載流子的方法很多，如探測電導率的變化，探測微波反射或透射信號的變化等，這樣組合就形成了許多壽命測試方法，如:直流光電導衰減；高頻光電導衰減；表面光電壓；微波光電導衰減等對于不同的測試方法，測試結果可能會有出入，因為不同的注入方法，厚度或表面狀況的不同，探測和算法等也各不相同。因此，少子壽命測試沒有絕對的精度概念，也沒有國際認定的標準樣片的標準，只有重復性，分辨率的概念。對于同一樣品，不同測試方法之間需要作比對試驗，但比對結果并不理想。