工具顯微鏡的干涉照明和應用

　干涉照明
 

　　工具顯微鏡在一般照明條件下，由于圓柱面和螺旋面的輪廓影像不夠清晰，測量時，瞄準精度低。
 

　　“干涉法”是對照明系統作適當調節，使輪廓影像邊緣產生干涉條紋，以測角目鏡分劃板刻線瞄準輪廓影像邊緣的干涉條紋，代替直接瞄準影像輪廓的測量方法。由于干涉條紋很細，又很清晰，所以比直接瞄準影像輪廓要準確得多。
 

　　干涉條紋是由于底光照明直接進入物鏡的光束和經被測表面反射的光束在空間迭加，產生干涉現象而形成。條紋可有多條，通常以離被測件輪廓最近的第1條作為瞄準目標。
 

　　使工具顯微鏡的照明產生干涉條紋的方法是：采用5×物鏡，把照明光欄口徑關到最小，照明電壓開到最大，就能在輪廓影像邊緣看到干涉條紋；把黑紙當中剪一個小孔放在底光照明聚光鏡表面，把光欄口徑和照明電壓都開到最大，效果也不錯。
 

　　干涉照明的調焦方式也在輪廓影像的邊與普通照明不同,調焦過程中，可以看到干涉條紋離輪廓自遠而近，找到距離最近的拐點，作為焦面。
 

　　應用
 

　　在工具顯微鏡上,干涉照明可用于螺紋螺距和牙側角的測量。測量時，用測角目鏡米字線與第1條干涉條紋重合，或將米字線夾在螺紋輪廓和第1條干涉條紋之間。
 

　　干涉照明不適合測量螺紋中徑，請使用三針在端度儀器上測量。
 

　　某些文獻給出了用干涉照明測量圓柱體直徑和螺紋中徑的方法，由于難于準確獲得輪廓到干涉條紋的距離，應慎用。建議使用端度儀器測量，會更加準確。