平插式能譜儀是一種用于材料科學、礦山工程技術、能源科學技術領域的分析儀器，于2018年10月17日啟用。
技術指標
能量分辨率：MnKa優于127eV，主能譜儀在400,000CPS內MnKa始終優于127eV。元素分析范圍: B5～Cf98。譜峰穩定性：1,000cps到100,000cps，MnKa譜峰漂移小于1eV；48小時內譜峰漂移小于1.5eV。處理器：處理器與計算機采用分立式設計，元素面分布圖分辨率4096*4096。數據庫：完備的定量數據庫，含K, L, M 和 N線系，可對重疊峰進行可視化譜峰剝離。掃描模式：點、區域定性、無標樣有標樣定量分析、線掃描和快速面掃描、定量線掃描、定量面分布、全息面分布、漂移校正、偏聚元素自動分析、相似譜圖匹配檢索等功能，支持面分布的譜峰剝離。
主要功能
用來對材料微區成分元素種類與含量進行分析 進行材料表面微區成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。