廣科院一國家質量基礎設施體系專項項目啟動

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近日，2022年國家重點研發計劃——國家質量基礎設施體系（NQI）專項項目《高適應性智能化數字X射線3D在線檢測關鍵部件及系統研制》項目啟動會暨實施方案論證會在北京召開。記者從廣東省科學院智能制造研究所獲悉，項目啟動會評審專家組對項目及各課題的實施方案進行了充分討論，一致同意項目及五個課題的實施方案通過論證。

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啟動現場。廣東省科學院智能制造研究所 供圖

該項目由廣州計量檢測技術研究院牽頭，清華大學、北京京東方光電科技有限公司、廣東省科學院智能制造研究所、中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所等8家單位參與。其中，廣東省科學院智能制造研究所作為項目子課題“適用多場景檢測任務的原位、智能化高速檢測整機研制”的牽頭單位。

“適用多場景檢測任務的原位、智能化高速檢測整機研制”面向多層集成電路制造領域在線實時3D成像與檢測重大需求，旨在明晰多原位還原機理，突破高速高精度多軸協同運動控制技術，研發原位物理加載裝置并研制智能化數字X射線檢測整機系統，為航空航天、汽車、新能源、新材料、半導體以及國防工業等諸多科研和先進制造領域提供技術和裝備支撐。

廣東省科學院智能制造研究所前期針對微米級加工行業缺乏在線加工精度檢測與反饋、檢測耗時長、設備昂貴等瓶頸問題，自主研制了HAMS高精度三維測量系統，可實現16mm*16mm*14.6mm 的測量范圍內5微米測量精度及1微米的測量點云分辨率，支持億級三維點云數據的獲取與處理，支持兩點、垂直、水平、垂直線、平行線、距離、角度等測量工具，以及自動/交互測量功能。