| 儀器名稱： | 刻蝕系統 |
| 儀器編號： | 04009242 |
| 產地： | 臺灣 |
| 生產廠家： | 弘塑科技有限公司 |
| 型號： | NitrideEtch |
| 出廠日期： | 200312 |
| 購置日期： | 200410 |
| 所屬單位： | 物理系>納米中心>納米中心加工平臺 |
| 放置地點： | 納米樓超凈間 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 馬偉濤（010-62796022,13910326054,413113259@qq.com） |
| 分類標簽： | 微納加工 05080713 |
| 技術指標： | 工藝設定溫度：20-25度 混合化學藥劑溶液：NH4F+HF 溶液槽容量：10L |
| 知名用戶： | 校內用戶：清華大學化學系、物理系、材料系、環境系、核研院、航院、精儀系、機械系、微電子所、電子系、醫學院、工物系、熱能系、力學系、建筑系、水利系、土木系、電機系、基礎工業訓練中心等二十余個院系。校外用戶：北京大學、中科院國家納米中心、半導體所、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地質大學、成都電子科技大學、上海交通大學、同濟大學等多個課題組 |
| 技術團隊： | 屬于納米中心測試加工平臺，有完善的組織管理體系，有經驗豐富的儀器維護管理工程師和專業的實驗員，還有納米中心廠務部門支持儀器外部的水、電、氣供應。 |
| 功能特色： | 設備配有排風管道，隨時抽走揮發性的酸堿 設備自動化程度高，可以控制溫度并且監測溫度 能夠自動和手動控制每個溶液槽操作 細微調節水槽補水、放水、溢流時間 面板式按鈕操作，直觀易操作 |
樣品要求：
樣品尺寸：最大可腐蝕4英寸襯底
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 濕法刻蝕 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 300.0 |