掃描電子顯微鏡的簡稱掃描電鏡。利用聚焦電子束在試樣表面掃描產生的電子信息，研究物質表層形貌特征的電子光學儀器。由鏡筒、真空系統和電器系統三部分組成。工作原理，電子槍產生的電子束、經會聚鏡和物鏡聚焦成細束后，在試樣表面掃描，產生二次電子、背散射電子，吸收屯子、透射電子等信息經探測器分別接收并放大輸入顯像管柵極，調節其亮度，最終獲得一幅與試樣表面結構有關的電子圖像，可用以對試樣表面形貌、顆粒大小，電位分布及表面元素分布進行研究。若配有X射線能譜儀附件，在獲得形貌像的同時可對該微區進行成分分析。具有立體感強、分辨率高（6mn)、放大倍數從20倍?30萬倍連續可調、制樣簡便等特點，被廣泛應用于各學科研究領域和工業部門。