使用EDX，研究人員可以快速得到有關樣品化學成分的信息，包括元素構成、分布及濃度。
但是EDX到底是如何工作的 利用掃描電子顯微鏡，各種信號可以提供給定樣品的不同信息。 例如 背散射電子生成襯度圖像，顯示出原子序數差異。而二次電子則提供樣品的表面形貌信息。當掃描電子顯微鏡與EDX探測器結合使用時，X射線也可以用作產生化學信息的信號。 為了更好地理解X射線的產生原理，我們要清楚，每個原子都擁有特定數量的電子，且電子處于特定的能級。正常情況下，電子在特定的軌道上運行且具有不同的、分立的能量。 EDX分析原理 電子束轟擊原子內層，激發出基態原子的內殼電子，在內層留下帶正電的電子空穴。內層電子離開原子后，處于較高能級的外層電子會填充這些低能級的空穴，多余能量可能會以 X 射線形式放出，而這種X 射線的能量分布可以反映特定元素和躍遷特征。 X射線生成過程： （1）能量傳遞給原子中的電子，使其離開原子留下空穴； （2）較高能級的外層電子填充空穴并釋放出特性X射線。 此種X射線可以用硅漂移探測器收集，并結合軟件對其進行測量和解釋。化學信息可以通過元素面分布和線掃描等多種方式實現可視化。這樣，利用X射線也就可以識別樣品中的各種元素。 有趣的是，EDX還可用于定性和定量分析，也就是識別樣品的元素類型以及每種元素的濃度百分比。與傳統掃描電子顯微鏡一樣，EDX 技術幾乎不需要樣品制備，并且無損，不會損壞樣品。 EDX分析以其多種優勢，已在制造業、研究領域、能源資源管理、快消品等多個行業得到廣泛應用。EDX 已經成為掃描電子顯微鏡的重要部分，利用掃描電子顯微鏡進行EDX分析，研究人員既可以提高分析結果質量，同時又能節省寶貴的時間。