掃描電鏡能譜可以分析5號元素（B)及其以后的所有元素周期表中的元素，如：Na、Mg、S、P、Ca、K、Fe、Cu、Mn和Zn。
掃描電鏡能譜的主要用途：
1、固體樣品表面微區形貌觀察；
2、材料斷口形貌及其內部結構分析；
3、微粒或纖維形狀觀察及其尺寸分析；
4、固體樣品表面微區成分的定性和半定量分析。
