減震系統
由于儀器工作時針尖與樣品的間距一般小于1nm,同時隧道電流與隧道間隙成指數關系,因此任何微小的震動都會對儀器的穩定性產生影響。必須隔絕的兩種類型的擾動是震動和沖擊,其中震動隔絕是最主要的。隔絕震動主要從考慮外界震動的頻率與儀器的固有頻率入手
在線掃描控制系統
在掃描隧道顯微鏡的軟件控制系統中,計算機軟件所起的作用主要分為“在線掃描控制”和“離線數據分析”兩部分。