掃描
STM工作時,探針將充分接近樣品產生一高度空間限制的電子束,因此在成像工作時,STM具有極高的空間分辨率,可以進行科學觀測。
探傷及修補
STM在對表面進行加工處理的過程中可實時對表面形貌進行成像,用來發現表面各種結構上的缺陷和損傷,并用表面淀積和刻蝕等方法建立或切斷連線,以消除缺陷,達到修補的目的,然后還可用STM進行成像以檢查修補結果的好壞。
微觀操作
引發化學反應
STM在場發射模式時,針尖與樣品仍相當接近,此時用不很高的外加電壓(最低可到10V左右)就可產生足夠高的電場,電子在其作用下將穿越針尖的勢壘向空間發射。這些電子具有一定的束流和能量,由于它們在空間運動的距離極小,至樣品處來不及發散,故束徑很小,一般為毫微米量級,所以可能在毫微米尺度上引起化學鍵斷裂,發生化學反應。
移動,刻寫樣品
當STM在恒流狀態下工作時,突然縮短針尖與樣品的間距或在針尖與樣品的偏置電壓上加一脈沖,針尖下樣品表面微區中將會出現毫微米級的坑、丘等結構上的變化。針尖進行刻寫操作后一般并未損壞,仍可用它對表面原子進行成像,以實時檢驗刻寫結果的好壞。