在科學技術和工業領域應用較多的發生器有電弧等離子體發生器（又稱等離子體噴槍、電弧加熱器）、工頻電弧等離子體發生器、高頻感應等離子體發生器、低氣壓等離子體發生器、燃燒等離子體發生器五類。最典型的為電弧、高頻感應、低氣壓等離子體發生器三類。它們的放電特性分別屬于弧光放電、高頻感應弧光放電和輝光放電等類型。
