智能程控勻膠機是高精密的旋轉涂膜儀。主要為高等院校、科研院所、研發中心等進行研究,開發各種功能薄膜所用。適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆。
技術指標
鍍膜時間設置: 1~9999 sec/ step
旋涂速度:0~ 5,000 rpm
旋涂加速度:0 ~ 30,000 rpm/s (空載)
轉速穩定性:1 rpm
轉速可重復性:1 rpm
鍍膜尺寸:φ10 ~ 200 mm