中文名稱
氟化氙準分子激光器
英文名稱
xenon fluoride excimer laser
定 義
以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合氣體為工作物質的準分子激光器。
應用學科
機械工程（一級學科），光學儀器（二級學科），激光器件和激光設備-激光器名稱（三級學科）
