氧化物半導體(oxide semiconductor)具有半導體特性的一類氧化物。氧化物半導體的電學性質與環境氣氛有關。
氧化物半導體ZnO、CdO、SnO2等常用于制造氣敏元件,Fe2O3、Cr2O3、Al2O3等常用于制造濕敏元件;SnO2膜用于制做透明電極等。
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