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  • 發布時間:2023-03-14 15:36 原文鏈接: 氮化鎵半導體材料的優點與缺陷

    ①禁帶寬度大(3.4eV),熱導率高(1.3W/cm-K),則工作溫度高,擊穿電壓高,抗輻射能力強;

    ②導帶底在Γ點,而且與導帶的其他能谷之間能量差大,則不易產生谷間散射,從而能得到很高的強場漂移速度(電子漂移速度不易飽和);

    ③GaN易與AlN、InN等構成混晶,能制成各種異質結構,已經得到了低溫下遷移率達到105cm2/Vs的2-DEG(因為2-DEG面密度較高,有效地屏蔽了光學聲子散射、電離雜質散射和壓電散射等因素);

    ④晶格對稱性比較低(為六方纖鋅礦結構或四方亞穩的閃鋅礦結構),具有很強的壓電性(非中心對稱所致)和鐵電性(沿六方c軸自發極化):在異質結界面附近產生很強的壓電極化(極化電場達2MV/cm)和自發極化(極化電場達3MV/cm),感生出極高密度的界面電荷,強烈調制了異質結的能帶結構,加強了對2-DEG的二維空間限制,從而提高了2-DEG的面密度(在AlGaN/GaN異質結中可達到1013/cm2,這比AlGaAs/GaAs異質結中的高一個數量級),這對器件工作很有意義。

    總之,從整體來看,GaN的優點彌補了其缺點,特別是通過異質結的作用,其有效輸運性能并不亞于GaAs,而制作微波功率器件的效果(微波輸出功率密度上)還往往要遠優于現有的一切半導體材料。


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