固體、液體、氣體、半導體等工作物質都可以做成波導激光器，其中較為成熟的是CO?波導激光器。
CO?激光器的波導管是內徑很細（約1nm）、內表面很光滑的空心導管，可以是圓形或方形，通常用氧化鈹（BeO）陶瓷做成。波導管只允許低階模通過，對高階模的損耗很大，故輸出激光的光束質量很好。CO?波導激光器的工作氣體是CO?，輔助氣體為N?、He、Xe，工作氣壓高達上百托。
由于氣壓高，增益大，每立方厘米激光工作物質輸出功率可達10瓦以上，是普通CO?激光器的25倍，為器件小型化提供了條件，即小型化是CO?波導激光器的一個特點。
連續CO?波導激光器的典型數據為：圓形波導管，內徑1.5mm，放電長度195mm，平凹諧振腔，輸出鏡透射率8%，氣壓比CO?∶N?∶He∶Xe=1∶0.9∶3.6∶0.3，輸出激光功率達4.1W。