X射線或其他光子源激發待測物質中的原子,使之產生熒光（次級X射線）。從而進行物質成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。色散型又分為波長色散型和能量色散型。波長色散型XRF光譜儀由X射線管激發源，分光系統，探測器系統，真空系統和氣流系統等部分組成。根據分析晶體的聚焦幾何條件不同,分為非聚焦反射平晶式,半聚焦反射彎晶式，全聚焦反射彎晶式，半聚焦透射彎晶式等。其原理是:試樣受X射線照射后，元素的原子內殼層電子被激發，并產生殼層電子躍遷而發射出該元素的特征X射線，通過探測器測量元素特征X射線的波長（能量）的強度與濃度的比例關系，便可進行定量分析。