涂層測厚儀校準要求和校準方法

標準厚度片是用于檢定涂層測厚儀示值誤差和示值變動性或校準涂層測厚儀的厚度標準器。涂層測厚儀校準條件，檢測室內溫度: 20℃±2℃,厚度片與量塊溫度平衡時間: 2h;檢測室內濕度:≤65%  立式光學計預熱時間:不少于15min  儀器所用電源:220 (1±10%) V, 50Hz。

1　外觀

要求:厚度片兩表面應無劃痕、凹凸點等缺陷  校準方法:目測觀察。

2　有效面積

要求:不均勻表面應標注半徑大于5mm的圓面積,均勻表面厚度片面積應不小于20mm×20mm。校準方法:鋼直尺測量。

3  數的平均值。

校準方法:用三等量塊和立式光學計,用直接法或比較法測量標準厚度片的厚度,測量前應用航空汽油清潔量塊、厚度片、光學計測砧、測頭,校準時所用測帽的曲率半徑不小于20mm,測桿下降時應通過撥杈使測帽輕輕與標準厚度片接觸,以防止對標準厚度片的撞擊,校準點為有效面積內均勻分布的5點(包括中心點),對無有效面積標記的標準厚度片規定其有效面積在以中心為圓心半徑不小于10mm的圓內。

4　均勻性誤差

要求:標準厚度片均勻性誤差。校準方法,取各點厚度讀數與厚度平均值的zui大差值為標準厚度片的均勻性誤差,其值不得超過表2要求。